OLED刻蚀清洗机设备
1. 本设备是液晶屏刻蚀机清洗台,适用于4-6英寸半导体硅片及液晶屏OLED钼基板清洗工艺。
2.整机由机台、操作台面、清洗槽体、温度控制系统,排风、机台照明、电气控制系统等组成。机身包板为德国PP板。瓷白色,整洁美观。
4.PLC控制器
5. 设备照明:20W封闭日光灯
6. DIW氮气(N2) 管路 、洁净空气管路、自来水管、 药液排放管、排气管路、 排水管布局简洁合理。
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